박막공학이란 과목을 배우면서 의문점이 생겨 이렇게 글을 올립니다.
최초에 표면에다가 여러 공정 PVD, CVD, PCVD 방법등을 이용해서
막을 올릴때, 최초 막 표면에서는 핵이 생성되며 주상정 조직이 생기게 됩니다.
그런데 이러한 주상정 조직은 취성이 있고, 각종 결함의 원인이 되어
결정입계가 둥글둥글한 박막 즉, 등축 결정립을 얻으려고 합니다.
이런 결정립을 얻기 위한 방법으로써 어떠어떠한 처리를 해주면 가능할까요?
교수님께서 질문을 해주시면서 이제껏 배운 것을 모두 조합하면 답이 나올꺼라고 말씀하시면서 이번 기말고사도 출제한다고 하셨는데, 걱정입니다.
많은 도움 주셨으면 좋겠습니다..
도와주세요