Mechanical Seal 의 평면도는 보통 약 0.9 micron 이하 이어야
합니다. 그런데 1 micron 이하는 Dial Gauge 로는 측정할 수 없기
때문에 Optical Flat 이라는 광학기구를 이용해서 측정합니다.
Optical Flat 은 완전평면 투명체(보통 석영재질)로서 소수 전문 Maker에서만 생산됩니다. Lapping (Reflective Finish) 된 Seal 면에 이 Optical Flat 을 올려 놓고 단색광 (보통 Na,He )을 투과시키면
Seal 면의 평탄도에 따라 여러 형태의 Stripe 무늬 (투과된 단색광
의 간섭무늬) 가 Optical Flat 에 나타납니다. 만일 나타나는 Stripe
무늬 모두가 일직선이면 완전평면이고 Stripe 의 휨 (Curvature)이 있으면 그 휨정도에 따라 Seal 면의 평면도가 정해집니다. 1 Light Band 라
하면 Sodium ( Na) Light 의 경우 반파장 (1/2 lambda) 에 해당하며
약 0.3 micron 의 평탄도를 의미합니다. 따라서 Mechanical Seal 의
평탄도 (flatness) 조건인 3 Light Band 는 약 0.9 micron 이 됩니다.
- 사용되는 He, Na 광원의 1 파장 (1 Lambda)은 약 0.6 micron 입니다.-
Optical Flat 자체의 정밀도도 있기 때문에 보다 구체적이고
기술적인 답변이 필요하시면 연락주세요. 성심껏 알려드리겠습니다.
실측을 원하시면 내사하셔도 됩니다.
참고로 1 Light Band (이하) 의 사진을 1 장 첨부합니다.
Mechanical Seal 의 평면도는 보통 약 0.9 micron 이하 이어야
합니다. 그런데 1 micron 이하는 Dial Gauge 로는 측정할 수 없기
때문에 Optical Flat 이라는 광학기구를 이용해서 측정합니다.
Optical Flat 은 완전평면 투명체(보통 석영재질)로서 소수 전문 Maker에서만 생산됩니다. Lapping (Reflective Finish) 된 Seal 면에 이 Optical Flat 을 올려 놓고 단색광 (보통 Na,He )을 투과시키면
Seal 면의 평탄도에 따라 여러 형태의 Stripe 무늬 (투과된 단색광
의 간섭무늬) 가 Optical Flat 에 나타납니다. 만일 나타나는 Stripe
무늬 모두가 일직선이면 완전평면이고 Stripe 의 휨 (Curvature)이 있으면 그 휨정도에 따라 Seal 면의 평면도가 정해집니다. 1 Light Band 라
하면 Sodium ( Na) Light 의 경우 반파장 (1/2 lambda) 에 해당하며
약 0.3 micron 의 평탄도를 의미합니다. 따라서 Mechanical Seal 의
평탄도 (flatness) 조건인 3 Light Band 는 약 0.9 micron 이 됩니다.
- 사용되는 He, Na 광원의 1 파장 (1 Lambda)은 약 0.6 micron 입니다.-
Optical Flat 자체의 정밀도도 있기 때문에 보다 구체적이고
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율산LP시스템 / 유태길
TEL) 032-328-0722 , 017-253,3603
FAX) 032-328-0740
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