안녕하십니까 ?
일단 제가 알고 있는 범위내에서 말씀드리겠습니다.
티타늄 증착과 관련해서는 플라즈마 CVD 장치에서 금속이나 유리 표면에 색감을 좋게 하기 위해서 뿐만 아니라 경도를 증가 시키기 위해 TiN 코팅을 한예를 본 적이 있습니다. 이 경우 Ti 소스로는 TiCl4를 사용했고 N 소스로는 NH3 를 사용한 것으로 기억하고 있습니다. 물론 실험실 수준이었구요. 이 경우 색이나 경도는 Ti와 N의 결합비에 따라 많은 차이가 있었습니다.
다른 한 예는 모니터나 브라운관에 빛의 반사를 막기위한 무반사 코팅으로서 TiN을 포함한 두 세가지 물질을 연속적으로 코팅함으로서 빛을 반사를 현저히 줄일 수 있었던 경우를 본 적이 있습니다. 이 경우에도 플라즈마 를 이용했습니다.
한편 플라즈마 스프레이 코팅을 이용할 경우 진공 챔버 내에서 티타늄 분말을 용사하면 티타늄만의 코팅이 가능합니다. 이 경우 코팅층의 두께는 수십 마이크로에서 수밀리 정도 됩니다.
귀하께서 티타늄을 코팅해서 사용하실 용도를 말씀 주시면 좀 더 자세히 알아보겠습니다.