심규만님의 글
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안녕하십니까..
진공증착에 관한 문서나 자료를 찾고 있습니다.
요즘 진공증착에 대해 공부중인 설계사입니다.
인터넷사이트를 조사해봐도
간략한 내용뿐이고 해서 이렇게 글을 올립니다.
진공증착에 대한 여러가지 자료나
구체적인 내용이나, 업체를 알고 싶습니다..
많은 부탁바랍니다.

----------------- [답 변] -------------------
안녕하십니까?

예전에 이 부분에 대한 답변을 제가 몇번 했던 것으로 기억 합니다. 인터넷에서 정보를 얻기보다는 관련서적을 참조하시는 것이 좋을 듯 합니다.

우선 다음 답변을 참조하십시오.

1. 진공증착 답변

2. 진공시스템

3. 반도체 제조개론 및 회사

참고 : 경기도 평택의 비산엔지니어링(665-5263)

4. 기타 추천 서적

반도체 공정기술 "생능출판사" 황호정 저

반도체 제조장치 입문 "성안당" 임종성 저

기타 외국서적이 몇권 있는데 우선 위의 자료를 참조하십시오.

도움이 되었으면 합니다.

감사합니다.