구홍덕님의 글
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저는 MEMS에 관심이 많은 부산대학교 기계공학부 3학년에 재학중인 학생입니다. MEMS에 대한 전반적인 것은 대략 알고 있긴 하지만 구체적으로 초소형구동기에 관해서 좀 더 확실히 알고 싶습니다
부탁합니다

----------------- [답 변] -------------------
안녕하십니까?

MEMS에 관해서는 제가 몇가지 자료를 이미 올려놓았습니다.

다음을 참조하십시오.
MEMS

아울러 초소형 구동기 즉, 현재 자이로센서등에 상용화된 컴드라이버를 질문하시는 것 같은데, 컴드라이버는 정전기력으로 구동하는 일종의 직선모터입니다. 공진특성을 이용하는 드라이버로서 SOI wafer상에 wet etching과 드라이 에칭기술을 사용하여 제작합니다.

자세한 내용은 첨부문서와 site를 참조하시기 바랍니다.

도움이 되었으면 합니다.



driver.pdf