산화도 일종의 부식인거 같아 여쭤봅니다.
몇시간 이곳저곳 자료를 뒤져봤는데 이와 관련된 것은 찾기가 힘들어 이렇게 묻습니다. 한국부식 방식학회에도 올렸는데 답이 없네요.. ㅠㅠ
똑같은 질문인데요.. 제가 찾으려는 물질은 플라즈마 발생용 진공용기로 사용될 예정입니다. 보통의 반도체 공정을 생각하시면 될거 같습니다.
저의 생각엔 진공을 잡는다고 해도 어느 정도 잔류가스와 물이 있어 플라즈마 생성시 산소와 열에 의한 산화로 보여지는 변색이 일어납니다. 이에 의해 진공용기 표면의 전기전도도에 영향을 미치고요..
1. 그래서 산소에 의해 산화가 안되는 물질이 있으면 가르쳐주셨으면 합니다.
2. 또한 보통 저희가 사용하는 진공용기는 SUS316L을 사용하는데요 이것을 사용할 때 산화를 일으키지 않도록하는 코팅이나 도금, 다른 물질로의 처리 방법(진공에 적합한..)이 있으면 가르켜주셨으면 합니다.
3. 그리고 사용하는 가스가 SF6 or CCl2H2(? 중요한건 Cl이요)인데요.. 위의 말씀드린 산화가 안 일어나면서 이러한 가스들로 인해 부식도 되지 않는 물질이 있는지 궁금합니다.

그럼 부탁드립니다.

정 미.