조정현
2002-03-22 23:28:29
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안녕하십니까.
제목대로 1sccm 이하의 질소가스유량을 측정하는 방법에 대한 조언을 구합니다.
UNIT나 BROOKS등 유명하다는 회사의 MFM들도 대부분 최소 측정가능 유량이 3sccm 이더군요.
꼭 MFM 이어야 하는 것은 아닙니다. 1sccm 이하의 유량을 측정할 수 있는 방법이면 무엇이든 좋습니다.
제품으로 나와있지 않아도 좋습니다. 단지 아이디어만 있어도 됩니다.
조언을 부탁드립니다.
제목대로 1sccm 이하의 질소가스유량을 측정하는 방법에 대한 조언을 구합니다.
UNIT나 BROOKS등 유명하다는 회사의 MFM들도 대부분 최소 측정가능 유량이 3sccm 이더군요.
꼭 MFM 이어야 하는 것은 아닙니다. 1sccm 이하의 유량을 측정할 수 있는 방법이면 무엇이든 좋습니다.
제품으로 나와있지 않아도 좋습니다. 단지 아이디어만 있어도 됩니다.
조언을 부탁드립니다.
공지사항
bubble meter를 이용하면 가능하리라 생각되는데요 ?
유리관과 비누방울을 이용해서 유량을 측정하는 방법인데, 주로 GC column의 carrier gas 유량을 조절하는데 사용합니다.
시중에서 시판되는 것으로 알고 있습니다. 시약상에게 문의하시면 될 겁니다. 혹 궁금한 점이 있으시면 연락 주십시요.
그럼 이만...