안성일
2004-04-25 22:36:16
5
708
불소계 Gas가 공급/배기 되는 진공용기(Vacuum Chamber)를 SUS 316L 소재로 제작하려고 합니다.
Work Condition
진공용기의 재질 : SUS 316L (TIG Welding)
Surface Treatment : Buffing 후 Electrode Polishing
사용 온도 : 24 ~40`C
진공용기의 체적은 30000L 이고 불소 Gas(SF6)는 5000 sccm (5000 Cm3/min)의 유량으로 Chamber 내부로 공급되며 Si , SiO2 , SiN2 와 반응하여 SiF4의 형태로 배기 됩니다. 이때 Chamber 내부의 압력은 자동 압력조절(배기량 Control) 기구에 의해 1X10E-3 torr로 유지 됩니다.
문의 드리고자 해는 항목 입니다.
1. 불소계 Gas(SF6 / SiF4)로 인한 Chamber 내벽 / 용접 부위의 Corrosion 유형.
2. Corrosion 방지를 위한 Coating 방법.
3. Corrosion 방지를 위한 가공(Welding) 및 후처리(Buffing & EP) 방법상 유의점.
4. 위의 Work Condition에 적합한 Corrosion Test 방법.
*HF Gas로 인한 SUS 316L Corrosion Test Data 관련 자료 구할 수 있는지요? 위의 Work Condition과 유사한 Test 결과면 더욱 좋구요..^^
여러 선배님들의 많은 조언 부탁 드립니다.^^
Work Condition
진공용기의 재질 : SUS 316L (TIG Welding)
Surface Treatment : Buffing 후 Electrode Polishing
사용 온도 : 24 ~40`C
진공용기의 체적은 30000L 이고 불소 Gas(SF6)는 5000 sccm (5000 Cm3/min)의 유량으로 Chamber 내부로 공급되며 Si , SiO2 , SiN2 와 반응하여 SiF4의 형태로 배기 됩니다. 이때 Chamber 내부의 압력은 자동 압력조절(배기량 Control) 기구에 의해 1X10E-3 torr로 유지 됩니다.
문의 드리고자 해는 항목 입니다.
1. 불소계 Gas(SF6 / SiF4)로 인한 Chamber 내벽 / 용접 부위의 Corrosion 유형.
2. Corrosion 방지를 위한 Coating 방법.
3. Corrosion 방지를 위한 가공(Welding) 및 후처리(Buffing & EP) 방법상 유의점.
4. 위의 Work Condition에 적합한 Corrosion Test 방법.
*HF Gas로 인한 SUS 316L Corrosion Test Data 관련 자료 구할 수 있는지요? 위의 Work Condition과 유사한 Test 결과면 더욱 좋구요..^^
여러 선배님들의 많은 조언 부탁 드립니다.^^
일반적인 개념으로는 가스상의 유체는 직접적인 부식 피해를 발생하지 않습니다.
하지만 지금의 상황은 Chamber내부에서 반응이 발생하므로 이렇게 일반적인 개념만으로 단정해서 얘기하기는 어렵습니다.
불소 가스 상에 수분이 형성될 가능성이 있다면 바로 극심한 부식이 유발 될 수 있겠지요.
방식 방법으로는 현재 온도가 낮고 압력에 대한 부분도 큰 고려대상이 되기 어려우므로 간단한 수지 Lining정도로 적용해도 가능할 것 같습니다.
제 생각에는 간단한 실험을 통해 직접 가속화된 조건에서 부식 실험을 실시하고 그 결과에 따라 적절한 방식대책을 수립하는 것이 좋습니다.
물론 이런일을 전문적으로 하는 업체에 의뢰 하시는 것이 좋겠지요.
원하신 다면 전문 평가 기관을 소개해드리겠습니다.
이진희 기술사 senior@naver.com
하지만 지금의 상황은 Chamber내부에서 반응이 발생하므로 이렇게 일반적인 개념만으로 단정해서 얘기하기는 어렵습니다.
불소 가스 상에 수분이 형성될 가능성이 있다면 바로 극심한 부식이 유발 될 수 있겠지요.
방식 방법으로는 현재 온도가 낮고 압력에 대한 부분도 큰 고려대상이 되기 어려우므로 간단한 수지 Lining정도로 적용해도 가능할 것 같습니다.
제 생각에는 간단한 실험을 통해 직접 가속화된 조건에서 부식 실험을 실시하고 그 결과에 따라 적절한 방식대책을 수립하는 것이 좋습니다.
물론 이런일을 전문적으로 하는 업체에 의뢰 하시는 것이 좋겠지요.
원하신 다면 전문 평가 기관을 소개해드리겠습니다.
이진희 기술사 senior@naver.com
공지사항
페사는 화학플랜트 및 제약플랜트등의 Tank내부 Electro Polishing 전문회사입니다.
문의 내용에 Chamber 내부에 EP처리를 한다는 이야기가 있던데 폐사가 도움을 드릴수 있르것 같아서 글을 올립니다.
혹시 ep에 대한 자세한 사항을 알고싶으시면 연락주십시요.
브이이브이(주)
관리팀 김성오
Tel 055)365-0061
Fax 055)365-0063