profile 이태경 2000-06-12 15:22:48
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안녕하세요..
전 경주 위덕대 반도체공학과에 다니는 이태경이라구 합니다..
제가 이글을 올리는 이유는 다름이 아니라 진공에 대해서 배우고 있다가
pvd에 대한 내용이 있어서 서적과 인터넷을 뒤지다가 도져히 못찾고
실망하고 있다가 우연히 이홈페이지를 알게 돼었습니다..
그래서 마지막 지푸라기도 잡고 싶은 심정에 이렇게 글을 올리게 돼었습니다.
pvd의 (작동과정)과 (진공과의 상관관계)에 대해서 그리고 진공시스템내에서 진공이 왜필요하며 그원리가 뭔지에대해서 답변을 해주시거나 자료를 주셨으면 합니다..
염치없는 부탁이지만 제발 부탁드립니다..
벌써 이물음의 답을 찾기위해서 해맨지도 1달이 넘어 감니다..
이제 지치고 짜증나고 우울하구 공부에 싫증이 나기 시작합니다..
흑흑..
저의 부탁을 제발 받아 주십시요..
그럼 오늘 하루도 좋은 하루가 되시길 빌며 이만 줄이겠습니다.

최경수 2000-06-15 22:58

자세한 사항은 김원경님께서 추천해 주신 책을 참고로 하시구요.
PVD 공정에서 진공 상태를 만들어 주는 이유는 쉽게 얘기해서 높은 산에서 물이 100도이하에서 끓는 것과 유사한 이유이지요. 즉 PVD 챔버내의 압력이 낮을수록 증착시키고자 하는 물질의 증발이 쉽게 일어나고, 가하는 열원의 온도도 조금 있습니다. 그러나 일반적인 PVD 공정의 챔버내 압력은 생각하는 것보다 낮지는 않습니다. 그리고 PVD 공정을 이용해서 증착을 하거나 코팅할 경우 그에 따른 반응가스를 주입해야 하기 때문에 챔버내에는 일정한 압력이 유지되고 있습니다. 즉 완전 진공은 아니라는 얘기지요.
혹 실제 실험에서 발생하는 문제나 의문점이 있으면 연락 주십시요.

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