Bright Annealing의 준말 입니다.
고온에서 조직의 연화 혹은 표준화를 위해 실시하는 열처리 과정에서 산화가 발생할 수 있는 데, 열처리 분위기를 진공 혹은 헬륨등의 비활성 기체 분위기에서 실시하게 되면 표면에 산화가 발생하지 않고 깨끗한 표면을 얻을 수 있겠지요.

일반적으로 반도체 공정에서 사용하는 튜브의 표면처리는 크게 2가지가
있습니다.
님께서 질문하신 B.A 처리된 튜브와 E.P처리된 튜브가 있습니다.
모두 경면으로 표면처리된 거구요..
B.A는 Bright Anealing의 약자이구요..E.P는 Electro Poilshing의 약자로
알고있습니다.
표면처리측면보다는 표면 거칠기와 상관관계가 있는 것 같습니다.
표면 거칠기가 높을 수록 튜브안에 particle이 잔류하기 쉬우므로
특수 표면처리를 해서 사용하는 것으로 알고 있습니다.
※반도체 공정에서는 파이프 연결을 하지 않는 이유가 바로 그이유죠..
연결부분에 particle이 남기 때문이죠..
그래서 튜브를 사용하구요..연결부위는 스웨이지락등의 피팅을
사용합니다.

일반적으로 EP자재가 BA자재보다 좋구요..비쌉니다..
고순도 gas(N2,O2,..특수가스등..) 배관에 많이 사용합니다.

그리고..일반적으로 설비에 hook-up전에 N2 gas를 퍼지하고..particle
check하고..hook-up을 하죠..

좀 더 자세한 사항을 알고 싶으면요...님과 함께 근무하시는
환경안전쪽 반도체 장비 Hook-up team에게 물어보시는 것이
더 나을 듯 합니다.

이상입니다.

박재우님의 글
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반도체용 고청정 튜브를 사용하다 보면 가끔 B.A Tube라는 것을 접하게 됩니다. 그런데 B.A(Bright Anealing)의 의미가 뭔지 궁급합니다.
흔히들 말하는 Anealing의 종류에서 Bright Anealing은 너무 생소해서 질문하게 되었습니다.

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