제가 알기로는 대학교중에도 보유하고 있는곳이 있습니다.
참고로 호서대학교 반도체 실험실쪽으로 알아보시면 장비보유여부를 알수있을것입니다.

Vacuum Leak Test 관련은....

저도 전문가는 아님니다만 제가 아는대로 말씀드리면,
먼저 진공도(Vacuum Presure)에 따라서 적당한 시험방법을
택하여야 합니다.
일반적인 진공누설검사의 구분은 `진공법` `가압법` `침투법` 등으로
분류하고 그구분에 따라서 소리탐지법, 스파크방전법, 헬륨누설검출법,
기포검사법, 초음파 이용법등 많은 방법이 있읍니다.
저의경우 진공이 아닌 일반 기밀용기에는 기포검사법, 침투법등을
이용해 보았고, 초고진공의경우 헬륨검출법을 사용해 보았읍니다.

여기서 저진공부터 초고진공까지 광범위하게 이용되는
헬륨누설검출방법에 대하여 간략히 소개하면,
헬륨의 경우 불활성기체로서 미세한 틈새도 쉽게 통과하며,
기체나 금속재료와 반응을 하지않아서 사용에 안전하고
질량이 작고 대기중의 농도가(5PPM) 매우 적으므로 검출 노이즈가
낮아 누설부위를 쉽게 탐지할수 있는 장점들을 지니고 있읍니다.
따라서 진공이라는 개념만 들어가면 대표적인 누설검출기로
이용되고 있으며, 근간에는 진공기술의 용도가 광범위하고,
개발되는 초정밀, 초청정등의 기술이 많이 요구되고 있으므로
진공기술이 보편화되어 웬만한 진공관련 업체에서는 헬륨누설검출기가
기본장비로 되어 있읍니다.
장비의 가격도 약 3000만원정도 이면 고진공에서 사용가능한 장비를
구매할수 있는것으로 알고 있음니다.

장비 취급 업체는 웹싸이트 검색으로 충분 하실것 같고,

진공과 관련된 내용의 책자를 소개 드리면,
"진공공학-한국경제신문, 배석희외4인 공저"
"이야기 진공과학- 윤화식, 최진태 엮"
위의 2가지 책자는 기존의 `기초진공이론`등 좀 어려운 책자보다,
필자들의 경험을 토대로한 내용이라 이해가
쉽도록 진공 전반에 대하여 잘 정리하여 소개되어 있읍니다.

아무쪼록 도움이 되셨길 빌면서, 변변치 못한 답변 드렸읍니다.
구체적인 내용을 다시 질문하시면 모자라지만 다시한번 답변 드리겠읍니다.

안녕히 계세요....

저는 발전소에서 정비업무를 하고 있지요
발전소에서는 730-760밀리에취지 진공을 사용하지요
덩치가 너무 커서 air ejector에 장비를 설치하고 헬륨 개스를 이리저리
끌고 다니며 의심나는 곳에 개스를 분사 시키면 흡입되어 장비에서
알람이 울림니다
제가 근무하는곳의 장비는 너무 커서 이동이 불편하고 고장이 자주 남니다
다른곳에서 포터불을 빌려왔는데
사용 설명서에는 헬륨개스를 사용하도록 되어있으나 작동동작이 매우느려
쓰는데 너무 너무 불편 합니다
헬륨 개스를 쓰는 것은 폭팔성 때문인듯 싶습니다
암모니아 개스나 LNG 개스 누설을 찾아내는 방향제를 사용하는것이 좋을듯 합니다
저도 수원 입니다.

Vaccum leak test로는 헬륨을 이용하는 방법이 가장 좋은 방법으로 알고 있습니다. 그러나 이러한 장비의 운영 비용이 비싸기 때문에 우리 나라에는 몇군데만 가지고 있는 것으로 알고 있습니다. 혹시 표준과학연구원이나 또는 기계연구원에 있을지 모르겠네요. 만일 제가 장비가 있는 곳을 찾게되면 또 답변을 올리겠습니다.